簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "SiC".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="化學氣相沈積"


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    以化學氣相沈積複合膜做為石墨保護層的研究
    • 化學工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 陳詩平 指導教授: 洪儒生
    • 本研究乃以四甲基矽烷(TMS)、氨氣、氫氣為原料氣體的內熱式低壓化學氣相沈積系統,藉由碳化矽/氮化矽複合膜沉積於石墨基材上,作為石墨與碳化矽覆膜間的熱應力緩和傾斜層。利用在氫氣氣氛下控制原料TMS對…
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